サツマ通信工業
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レジスト液とドライフィルムの比較

◆レジスト液とドライフィルムの違い
レジスト液 ドライフィルム
線幅/線間隔 20/20ミクロンの
パタンが可能
50/50ミクロンが限界
材料価格/m2 ¥90〜100 ¥150〜200
基板の凹凸に
対する追従性
非常に良好 限界がある
レジスト膜厚 10ミクロン以下が可能 15ミクロンが限界
◆レジスト液とドライフィルムのコスト比較
レジスト液とドライフィルムのコストの比較
◆ディップ法とロールコータ法との違い
ディップコーター ロールコーター
薄板対応
0.06mm〜
0.1mm〜
基板サイズ
変更作業
なし
× 作業が必要
  
(ローラ交換等)
日常手入れ
特になし
× ローラ洗浄が必要
  (始業時、終了時)
塗布方法
非接触
× 接触
◎:優秀 △:普通 ×:劣る


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