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| ◆レジスト液とドライフィルムの違い |
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レジスト液 |
ドライフィルム |
| 線幅/線間隔 |
20/20ミクロンの
パタンが可能 |
50/50ミクロンが限界 |
| 材料価格/m2 |
¥90〜100 |
¥150〜200 |
基板の凹凸に
対する追従性 |
非常に良好 |
限界がある |
| レジスト膜厚 |
10ミクロン以下が可能 |
15ミクロンが限界 |
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| ◆ディップ法とロールコータ法との違い |
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ディップコーター |
ロールコーター |
| 薄板対応 |
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| ◎ |
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0.06mm〜 |
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| △ |
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0.1mm〜 |
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基板サイズ
変更作業 |
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| ◎ |
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なし |
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| × |
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作業が必要
(ローラ交換等) |
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| 日常手入れ |
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| ◎ |
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特になし |
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| × |
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ローラ洗浄が必要
(始業時、終了時) |
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| 塗布方法 |
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| ◎ |
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非接触 |
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| × |
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接触 |
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